MB-2000 太陽電池用シリコンウエハセパレーター
2枚重ねが出ない構造になっています!
粗洗浄後の積み重なった、140μm~200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。
- 企業:マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格:1000万円 ~ 5000万円
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2枚重ねが出ない構造になっています!
粗洗浄後の積み重なった、140μm~200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。