シングルウェハリアクタ - 企業1社の製品一覧

スーパータル　シングルウェハーリアクター

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。

• 企業：アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー
• 価格：応相談

• その他ヒータ
• CVD装置
• アニール炉