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今後の超薄板製品対応が可能！上部2組,下部2組でノズルユニット位置を錯角に設計されています
当製品は、広幅12mmディスクを適用及びローラーの 間隔25mmピッチを適用したジェットスクラバー機です。 最小0.06mm（コア）超薄板製品の移送及び処理対応が 可能になるよう設計。 今後の超薄板製品対応が可能です。 【特長】 ■上部2組,下部2組でノズルユニット位置を錯角に設計 ■均一な噴射が可能 ■駆動部は設備維持補修が容易いように設計 ■最大の回収率を具現するためにBタイプ2列並列方式でスピコロンを設計 ■既存ケーブルタイ方式代わりPVC配管を利用したカバー方式を適用 ■メンテナンスが容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウェーハ単体、ウェーハリング等に対応！専用ノズル追加で界面活性剤を塗布可能
当社の、純水のみで高速洗浄する『ウェーハジェットスクラバー』を ご紹介します。 「WJS-150B」をはじめ「WJS-200B」や「WJS-300B」をラインアップ。 また、ウェーハ単体、ウェーハリング（ハーフカット、フルカット、 エクスパンド）等々、さまざまな工程に対応可能です。 【特長】 ■純水のみで高速洗浄 ■さまざまな工程に対応可能 ■専用ノズル追加で、ブラシ洗浄時に界面活性剤（中性/弱アルカリ）を塗布可能 ■オプションでブラシ押付圧力機構を取付可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【デモ機貸し出し可能！】ウエハー高圧ジェットスクラバー HPC-8654-H
ウエハー表面を非接触で純水の高圧ジェットにより洗浄するものです。 【特徴】 ◯パーテイクルの除去 ◯粒子状汚染除去 ◯ウエハー表面のバリの除去
