ウェーハ単体、ウェーハリング等に対応!専用ノズル追加で界面活性剤を塗布可能
当社の、純水のみで高速洗浄する『ウェーハジェットスクラバー』を ご紹介します。 「WJS-150B」をはじめ「WJS-200B」や「WJS-300B」をラインアップ。 また、ウェーハ単体、ウェーハリング(ハーフカット、フルカット、 エクスパンド)等々、さまざまな工程に対応可能です。 【特長】 ■純水のみで高速洗浄 ■さまざまな工程に対応可能 ■専用ノズル追加で、ブラシ洗浄時に界面活性剤(中性/弱アルカリ)を塗布可能 ■オプションでブラシ押付圧力機構を取付可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(一部)】 ■高速JET洗浄:~100kg/cm2 ■ブラシ洗浄:ナイロン、ベルクリン(選択) ■超音波洗浄:1.1MHz ■2流体洗浄:専用ノズル ■ステージ回転数:3,000rpm ■品種登録数:10ch ■洗浄ステップ:20ステップ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
【用途】 ■ウェーハ単体、ウェーハリング(ハーフカット、フルカット、エクスパンド)等 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
一歩先の価値を創造し、新たなるフィールドへ。 ダイトロングループは、高水準の企画開発力とマーケティング力、製造技術力を併せ持つエレクトロニクスの技術商社です。 国内外に広がるネットワークを駆使し、各分野で高い専門性を誇るグループ会社と連携を図ることで、いつの時代もお客様ニーズの一歩先をいく価値を創造してきました。 それは、私たちの誇りであるとともにアイデンティティでもあります。 情報技術を通して、世界に貢献したい。 これからも時代が求める課題に応え、新たなるフィールドを目指して、次から次へと進化し続けます。