スクラッチ装置
高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全自動で行います
『スクラッチ装置』は、ウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少な スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア、シリコンなど、多彩に対応致します。 【特長】 ■極微少なスクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行う ■ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備 ■ウエハーサイズは4インチが基本、装置カスタマイズにより 12インチ迄、選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ソフトワークス株式会社
- 価格：応相談
