『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』
コンパクトで省エネルギー設計！導電性膜を高精度に成膜するスパッタコーター
『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』は、FESEM試料の導電性膜を 高精度に成膜する信頼性の高い、クレジントン社製のスパッタコーターです。 マグネトロンヘッドのデザインと効率的なガス導入機構で、多種類の ターゲット材が選択できます。 さらに、独立した面内回転、プラネタリー軌道、および軸回転の理想的な 移動が試料全領域に均一なコーティングを可能にします。 【特長】 ■多種類のターゲット材が選択可能 ■正確な膜厚コントロール ■多試料ステージの移動機構 ■ターゲットおよび試料間の距離可変のチェンバージオメトリ ■操作真空度の広い調整範囲 ■ベンチトップタイプの省スペースと省エネルギー設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：エルミネット株式会社
- 価格：応相談
