コンパクトで省エネルギー設計！導電性膜を高精度に成膜するスパッタコーター
『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』は、FESEM試料の導電性膜を 高精度に成膜する信頼性の高い、クレジントン社製のスパッタコーターです。 マグネトロンヘッドのデザインと効率的なガス導入機構で、多種類の ターゲット材が選択できます。 さらに、独立した面内回転、プラネタリー軌道、および軸回転の理想的な 移動が試料全領域に均一なコーティングを可能にします。 【特長】 ■多種類のターゲット材が選択可能 ■正確な膜厚コントロール ■多試料ステージの移動機構 ■ターゲットおよび試料間の距離可変のチェンバージオメトリ ■操作真空度の広い調整範囲 ■ベンチトップタイプの省スペースと省エネルギー設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（一部）】 ■チェンバーサイズ ・150mmφ高さ可変,165mm-250mm ■スパッタヘッド ・低電圧平面マグネトロン ・クイックターゲット交換 ・ダークスペースシールド ・ターゲット用シャッター ■スパッタターゲット ・Cr,Pt/Pd（標準付属品） （Ta,Au,Au/Pd,PtおよびWオプション） ■スパッタ制御 ・マイクロプロセッサベース ・セーフティーインターロック ・真空系と独立した電流制御 ・デジタルで選択可能な電流（20,40,60、または80mA） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■FESEM試料の導電性膜を高精度に成膜 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
社名のエルミネットは、 次の単語の頭文字をかたどっています。 Electron(電子） Microanalysis(微小領域分析） Network(ネットワーク）