スピンソニッククリーナー
サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄
ウェハー横置き、枚葉式ファインジェット方式の採用で高い洗浄能力を 実現する「スピンソニッククリーナー」をご紹介いたします。 サブミクロンのパーティクルまでも取り除くことができ、さらに工程数を カットし、薬液管理およびヒーターが不要に。 洗浄時間の短縮、ランニングコストの節約などを可能とするすぐれた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■薬液対応ファインジェット＆400kHzファインジェットにより高い洗浄能力を実現 ■非接触洗浄(ブラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現 ■1ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に ■完全常温プロセスのためヒーターを必要とせず、消費電力を大幅にカット ■機能別のユニット構成により設置面積のコンパクト化と 自由度の高いレイアウトを実現 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社プレテック 静岡製作所
- 価格：応相談
