サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄
ウェハー横置き、枚葉式ファインジェット方式の採用で高い洗浄能力を 実現する「スピンソニッククリーナー」をご紹介いたします。 サブミクロンのパーティクルまでも取り除くことができ、さらに工程数を カットし、薬液管理およびヒーターが不要に。 洗浄時間の短縮、ランニングコストの節約などを可能とするすぐれた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■薬液対応ファインジェット＆400kHzファインジェットにより高い洗浄能力を実現 ■非接触洗浄(ブラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現 ■1ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に ■完全常温プロセスのためヒーターを必要とせず、消費電力を大幅にカット ■機能別のユニット構成により設置面積のコンパクト化と 自由度の高いレイアウトを実現 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ■エピ前後の洗浄 ■CMP後の洗浄 ■ポリッシング後の洗浄 ■アニール前の洗浄 ■CVD、窒化膜、酸化膜等の成膜前後の洗浄 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
企業情報
当社は、半導体業界、フォトマスク業界、ディスク業界及びレンズ業界に対し、 お客様の用途、製造ライン等に対応した各種装置の開発・設計・製造及び販売 などを行っている会社です。 顧客仕様に基づくカスタマイズ生産に特化し、設計、開発、組立て、検査、 据付、保守に至るまで製品のライフサイクルをトータルにサポート。 すべての工程で顧客と密接な関係を構築することで直接、顧客の考える問題点や 技術トレンドを感じ取り、それに応じた開発にいち早く着手しています。