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スキャン時には周速制御による均一性向上も可能！従来より多数の御使用を戴き実績も豊富
現像、エッチング、リンス、乾燥と一連のパターニング処理を 従来型のSpinにて行う装置のご紹介です。 基板品種により現像､エッチングの処理時スプレー又はパドルの レシピ選択ができ、スキャン時には周速制御による均一性向上も可能。 本機は低コストで、従来より多数の御使用を戴き実績も豊富ですが、 循環再利用のプロセスには2チャンバーでの対応が必要となります。 廃液・排水、排気のきちんとした分離対応が必要な場合には、 新型のUDS式装置で対応いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
１台あればコーティング・洗浄・エッチングなど様々なプロセスに対応ができる！薬品に強く汚れもカンタンに落とせる！
コーティング、洗浄、エッチング、それぞれの工程を別機で処理していて工数がかかっていて短縮したい…そんなお悩みをお持ちの方いらっしゃいませんか。 協同インターナショナルの樹脂製多目的スピンプロセッサ『POLOS』が解決します。 １台でコーティング、洗浄、エッチングなど、さまざまなプロセスに対応可能です！ またデスクトップタイプ、ミニウェットステーションとタイプも選べます。 【特 長】 ■全て樹脂製のスピンプロセッサだから… ・使いやすい＝汚れても簡単に洗浄できる ・多目的に使える＝エッチング、現像、スピンドライなど ・薬品に対して強い！(ポリプロピレン or テフロン) ■ブラッシュレスモーター採用だから ・重い基板でも正確に回転 ・加速スピード設定や逆回転・パドル操作の設定が可能 ・回転数は、最大12000rpm。高粘度の材料コートが可能 ■豊富なオプションや拡張性があるから… ・チップサイズから大型基板(□1000mm)まで対応 ・真空チャック、メカニカルチャックなど多様な保持方法など 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
