スプレーコータ×株式会社三明 - 企業1社の製品一覧

スプレーコーター

立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化

『スプレーコーター』は、低粘度から高粘度の薬液に対応し、 微細な凹凸に塗布ができます。 微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、 キャビティ、トレンチ構造部分など、従来のスピンナーで塗布が困難で あった部分にも均一な膜を形成可能。 反射防止膜などの薬液をガラス材に均一にスプレーする用途にも好適です。 【特長】 ■微細な凹凸に塗布が可能 ■低粘度から高粘度の薬液に対応 ■数μmから数百μmの膜厚に対応 ■立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 企業：株式会社三明 静岡本社、東京・沼津・浜松・大阪・神奈川（横浜）・埼玉・山形・愛知（名古屋）・富山・長野・青森
• 価格：応相談

• スプレー