スリム型100nm分解能ステージ（50mm）
エンコーダ内蔵！高分解能位置決めステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
スリム分解能ステージ×シグマ光機株式会社 - 企業1社の製品一覧
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スリム型100nm分解能ステージ（40mm）
エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
