エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化
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基本情報
型式：FS-1040X(S) 分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値） 再現性：±200nmまたは±100nm（内蔵スケール読み値） ストローク：40 mm 最高移動速度：10 mm/s テーブルサイズ：80×60 mm 対応コントローラ：FC-111 or FC-411
価格帯
納期
用途／実績例
精密な位置決めが必要な分野 光学研究での治具 精密部品の検査装置
CADデータ（2）
| 型番 | 概要 | ファイル |
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| FS-1040X(S) | 40mmストローク、100nmまたは50nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
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| FS-1040X(S) | 40mmストローク、100nmまたは50nm分解能（内蔵スケール読み値）動作 |
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企業情報
シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。