スリム型100nm分解能ステージ（50mm）
エンコーダ内蔵！高分解能位置決めステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化
分解能ステージ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
分解能ステージの製品一覧
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ピエゾナノアクチュエータ｜直進性を維持 0.1nm分解能ステージ
実可動部の直接計測により、干渉計・フォトニクス用途の微細位置ズレを低減
P-753 は、15〜38 µmの移動量を0.1 nm分解能で制御する1軸ピエゾナノポジショニングステージです。 実可動部を実測する、2電極型静電容量センサーとフレクシャガイドによる摩擦ゼロ構造により、ナノメートル動作と、数 msecでの位置決めを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
スリム型100nm分解能ステージ（40mm）
エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化
