維持分解能ステージ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ピエゾナノアクチュエータ｜直進性を維持 0.1nm分解能ステージ

実可動部の直接計測により、干渉計・フォトニクス用途の微細位置ズレを低減

P-753 は、15〜38 µmの移動量を0.1 nm分解能で制御する1軸ピエゾナノポジショニングステージです。 実可動部を実測する、2電極型静電容量センサーとフレクシャガイドによる摩擦ゼロ構造により、ナノメートル動作と、数 msecでの位置決めを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。