セミオートプローバー『12インチウェハ セミオートシステム』
最大12インチウェハ対応！低コストで、非常に小さなエリアでの設置が可能
当製品は、最大12インチウェハ対応の、高性能セミオートプローバーです。 「TS3000-SE」は、微小電流測定やセミオート機では難しかった、1/f測定 などの様々な測定に対応しておりながら、低コストで導入可能な革新的 モデルです。 チラーユニットを含め、非常に小さなエリアでの設置が可能です。 【特長】 ■「TS3000」 ・プローブカードとポジショナーの同時設定が可能 ・不良解析や信頼性試験、RF測定、ロードプル測定などに好適 ・広い開口を保持しながら低温環境下での測定にも対応 ■「TS3000-SiPH」 ・シリコンフォトニクスデバイスの特性評価用に設計 ・高い柔軟性の高精度ファイバーアライメントシステム ・安全な動作が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ベクターセミコン株式会社
- 価格：応相談
