セラミック圧力センサ(ガス分析) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

セラミック圧力センサ『ME657』

厚膜ホイートストンブリッジとPTC抵抗器による温度補償により、高い安定性と再現性を確保！

『ME657』は、「小型化」「高信頼性」「過酷環境対応」を同時に 実現する超小型セラミック圧力センサです。 半導体装置や真空・ガスプロセスで求められる、限られたスペースでの 高圧・腐食性ガス・水素環境下の長期安定計測に対応。 Al2O3(アルミナ)セラミックダイヤフラムにより腐食や水素脆化を 防止し、金属ダイアフラムで問題となる劣化やドリフトを抑制します。 【特長】 ■差動mV/V出力 ■φ12.85mmの小型圧力センサ ■優れた耐腐食性・耐薬品性・機械的強度・生体適合性・摩耗性 ■ゲージ圧対応 ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。