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セラミック圧力センサ(温度計測) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

セラミック圧力センサの製品一覧

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静電容量式セラミック圧力センサ『ME550』

広い動作温度範囲!耐薬品性(腐食性ガス、ほとんどの溶剤など)に優れたセンサ

静電容量方式を採用した『ME550』は、60mbarという非常に低い 圧力の測定に適したセンサです。 高い耐圧を特長とし、半導体製造装置をはじめ、農業用計測装置や 気象用計測装置などのアプリケーションに好適。 Al2O3セラミックにより耐薬品性(腐食性ガス、ほとんどの溶剤、 酸など)に優れています。 【特長】 ■静電容量方式を採用 ■耐化学薬品性(耐酸性・耐アルカリ性) ■機械的堅牢性 ■広い動作温度範囲 ■超低圧測定:0~60mbar ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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セラミック圧力センサ『ME657』

厚膜ホイートストンブリッジとPTC抵抗器による温度補償により、高い安定性と再現性を確保!

『ME657』は、「小型化」「高信頼性」「過酷環境対応」を同時に 実現する超小型セラミック圧力センサです。 半導体装置や真空・ガスプロセスで求められる、限られたスペースでの 高圧・腐食性ガス・水素環境下の長期安定計測に対応。 Al2O3(アルミナ)セラミックダイヤフラムにより腐食や水素脆化を 防止し、金属ダイアフラムで問題となる劣化やドリフトを抑制します。 【特長】 ■差動mV/V出力 ■φ12.85mmの小型圧力センサ ■優れた耐腐食性・耐薬品性・機械的強度・生体適合性・摩耗性 ■ゲージ圧対応 ※詳しくはPDF(英語版)をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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