カフマン グリッドタイプ イオンソース
ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。
カフマン型グリッドイオンガン RFICPイオン源グリッドサイズ：4cm, 10cm, 14cm, 22cm, 36cm DCイオン源グリッドサイズ：1cm, 4cm, 8cm, 10cm, 16cm The versatile gridded series of broad beam ion sources are available in different sizes which covers both R&D and high yield production requirements. Large ion beam sources meet critical output performance for uniform coverage over wide process zones. 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 ※こちらのカタログは英語のカタログになります。
- 企業：アールエムテック株式会社
- 価格：応相談
