グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ TG60F
取付姿勢は自在!コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ!
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急速ベント停止が可能。 ■大気突入に強い構造。 ■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE(※TG60F-20のみ) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業:株式会社大阪真空機器製作所
- 価格:応相談