『DP-Fノンメタルシリーズ』DP-Fi/□/Rシリーズ
半導体産業用ダイヤフラムポンプ
DP-Fノンメタルシリーズ：半導体産業用 エア切替 ノンメタル DP-Fi/□/Rシリーズ 【特徴】 ■特殊ラバーサスシールの反発を利用して樹脂の温度変化等による タイロッドの緩みを軽減し、ワンピースダイアフラム・樹脂センターロッドなど ノンメタル化を実現しました。さらに液剤出入り口をインサイドにすることで マニフォールドが必要なくなり、その分コンパクトになり薬液供給システムや 薬液循環装置に好適 ■バルブやシート、切替部などケーシングを分解せずに 消耗品の取替えができる ※CMPスラリーには使用できません。 ※詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ヤマダコーポレーション
- 価格：応相談
