ディフューザーフィルタ - メーカー・企業と製品の一覧

米国mott社製ディフューザーフィルターGSDシリーズ

真空チャンバーの大気復帰時のパーティクルかく乱防止

ディフューザーフィルターは真空チャンバーの大気復帰時にかく乱させることなくすばやく大気復帰し、サイクルタイムを短縮しスループットを向上させます。高い使⽤圧⼒にも耐え、300万サイクル以上の高寿命製品。

• 企業：株式会社テクメイション
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置