米国mott社製ディフューザーフィルターGSDシリーズ
真空チャンバーの大気復帰時のパーティクルかく乱防止
ディフューザーフィルターは真空チャンバーの大気復帰時にかく乱させることなくすばやく大気復帰し、サイクルタイムを短縮しスループットを向上させます。高い使⽤圧⼒にも耐え、300万サイクル以上の高寿命製品。
- 企業:株式会社テクメイション
- 価格:応相談
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真空チャンバーの大気復帰時のパーティクルかく乱防止
ディフューザーフィルターは真空チャンバーの大気復帰時にかく乱させることなくすばやく大気復帰し、サイクルタイムを短縮しスループットを向上させます。高い使⽤圧⼒にも耐え、300万サイクル以上の高寿命製品。