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米国mott社製ディフューザーフィルターGSDシリーズ

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GSD/GSEシリーズ

最終更新日:2025年09月26日

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真空チャンバーの大気復帰時のパーティクルかく乱防止

ディフューザーフィルターは真空チャンバーの大気復帰時にかく乱させることなくすばやく大気復帰し、サイクルタイムを短縮しスループットを向上させます。高い使⽤圧⼒にも耐え、300万サイクル以上の高寿命製品。

    その他半導体製造装置
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米国mott社製ディフューザーフィルターGSDシリーズ

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  • 関連リンク - https://techmation.co.jp/products/mott/hp/
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/techmation/product/

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基本情報

製品形状:ディクス、チューブ型 捕獲性能:0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様:NW25、NW40、NW50、NW100

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用途/実績例

真空チャンバーの大気復帰時のかく乱防止やガス拡散用途

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TESCOM圧力調整器 HOKE製バルブ、GYROLOK継手 Unuted Electric社製Precision sensors製品 mott製高純度フィルター 高温高圧流体の試験装置、石油、化学産業及び一般産業向けの装置に向けた流体制御機器の取り扱いをしています。 高圧水素に対応する圧力調整器、バルブの取り扱い実績あり。 半導体製造装置向けの圧力調整器、フィルター、差圧計などを幅広く取り扱い。 高圧の流体を使用する産業に向けて以下のような製品群も取り扱っています。 ウースターコントロール社ボールバルブ 超高圧バルブ、継手(オートクレーブ社、ビューテック社、HIP社) 高圧用電磁弁 ステンレスチューブ、パイプ、フレキシブルチューブ、 テフロン等各種配管材 流量計、圧力計、その他計装用機器 マスフローコントローラ、 コントロールバルブその他流体制御機器 変換継手、反応管、各種製作品の少量、短納期で手配致します。 インコネル、ハステロイ等、特殊材の継手、製作品の手配致します。

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