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ドライ真空ポンプ(メカニカルブースター) - メーカー・企業と製品の一覧

ドライ真空ポンプの製品一覧

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厚膜フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプTRVシリーズ

酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(200μm)採用。独自の立形構造により凝縮液の回収を容易に。

ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。   ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収することができます。 また設置面積が小さいため、装置への組み込みにも適しています。   【特長】    ■200μ m の厚膜フッ素樹脂コーティングに対応 ■大気圧から締切運転まで安定した運転が可能 ■120°Cまでの高温ガスの吸引が可能 ■メカニカルブースターとの組み合わせにより幅広い真空域に対応 ■電動機は防爆対応も可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問い合わせください。

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ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック/ULVAC】

LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能(オプション)です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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