CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○低温領域で均熱化（LRシリーズ） →PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために 排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適 ○高温領域で均熱化（HRシリーズ・URシリーズ） →CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を 気体の状態で排出することが可能 →URシリーズはHRシリーズよりも、さらなる高温化が可能 ○ヘリウムタイト →キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全 ○瞬停対策 →500msec以内の瞬停対策を施している ○優れた耐食性 →主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用 →腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減 ○通信機能 →ポンプ運転状態に関するデータ、 ワーニング／アラーム履歴を読み出すことが可能 →専用ソフトを使用し､コンピュータ通信を行えば集中監視が可能 ○CE対応可能 →CE対応はご発注時のご指定によるオプション ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○活性ガス排気（CVD、ドライエッチング等） ○不活性ガス排気（スパッタ、蒸着、熱処理等） ○仕込み取り出し室の排気時間短縮（LR シリーズ） ○粉体の発生するプロセスでの排気（Si 単結晶引き上げ等） ○補助排気ポンプとして （ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
