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ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
オリオン機械/真空ポンプ。安心設計・低運転音を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により10％アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応。
材料供給工程の空気輸送から、滞留ガスのない高品質プラスチック製品に必須の射出成型/押出成形における脱気までお任せください！
サイロや大型バッグからプラスチックを加工するマシンまで、原料を安全・確実に運ぶ空気輸送。高品質プラスチック製造に欠かせない、射出成型/押出成形におけるガスや蒸気の脱気。ブッシュの真空ポンプは世界のプラスチック業界で実績を積んでいます。 是非導入事例をご覧ください。
