1～3 件を表示 ／ 全 3 件
ドライ真空ポンプの問題点を解決！
四葉機械製作所独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプ 【特徴】 ○排気には封水・封油を含まずクリーンな真空 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現 ○独自の技術を基に研究開発された直接冷却方式 回転するローター内部とケーシング･ジャケットを直接、冷却液で圧縮熱を除去 常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つ ○凝縮性ガス対応 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないので、廃液処理費が不要 ○ISO14001、PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式の為、各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応可能。
減圧濾過・減圧乾燥に最適な、オイルレスの小型真空ポンプです。
減圧濾過・減圧乾燥に最適な小型真空ポンプです。オイルレスなので、面倒なオイルのメンテナンスが必要ありません。安価ながら、サーマルプロテクター搭載の安全設計。移動に便利な持ち手もついていますので、ちょっと減圧したいときにその場へ持ち運び、ご使用いただけます。 ●ピストン駆動のドライポンプで、潤滑油や定期的なオイル交換等のメンテナンスが不要です。 ●吸引口には粒子や水分をトラップするためのフィルターカートリッジが装備されています。 ●真空を調整する真空レギュレーター付き。 ●過熱時にポンプを自動的に遮断し、温度が冷えると作動を再開する熱保護装置が内蔵されています。 ※本製品は耐溶剤仕様ではございませんのでご注意ください。
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
