走査型液中ナノパーティクルカウンター STPC 3
液中パーティクルカウンター（半導体・ウェハー関連）
皆様はパーティクル プリカーサー（Particle Precursor）についてご存じでしょうか。 半導体の歩留まり（yield）を高めるうえでゴミや汚れを取り除く洗浄工程（Cleaning）は極めて重要であり、ファウンドリーでは洗浄に使用するUPWや薬液が綺麗であることをマストで管理しております。 今までは液中粒子（Particles）が歩留まり低下の要因とされ「20nmの粒がいくつ以下で」などと管理をしてきたのですが、ここ最近は粒子ではなくUPWや薬液に溶け潜み乾燥したら現れるコンタミが歩留まりに悪影響を与えていることが知られております。「液中ではカウントできなかったのに、ウエハ上ではベターっとシミのように存在を現す、、、」そのコンタミをパーティクルプリカーサーと言います。 微細化、集積化という言葉が飛び交う中、UPW（超純水）や薬液（IPA、水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸、PGME）中のパーティクルやプリカーサー管理にご興味を頂いたファウンドリー及びサプライヤーの皆様は一度お問い合わせくださいませ。
- 企業：カノマックスアナリティカル株式会社
- 価格：応相談
