ナノポジショニングステージ(xyz軸) - メーカー・企業と製品の一覧 | イプロスものづくり

高精度・高動特性を実現するパラレルキネマティクス P-733.2

再現性 ±1nm、XY軸100 µm＋Z軸10 µmストローク、50 mm開口で透過光にも最適

高信頼性のPICMAピエゾセラミック駆動、静電容量センサによるダイレクト計測を行うXYZ軸ナノポジショニングステージです。 XY軸動作量は、30ｘ30µｍと100 × 100 µmタイプで、Z軸は10 µmストロークになります。 開口　50 × 50 mmを持つため透過光アプリケーションにも最適。 高精度顕微鏡、マスク/ウェーハの位置決め、計測技術などに使われます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。