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ネトロンスパッタソース×有限会社フォーユー - 企業1社の製品一覧

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IONIX(R) マグネトロンスパッタソース

独自の冷却水の経路により、マグネトロン全体を、常時、一定温度で冷却可能です

当社では、矩形タイプの『IONIX(R) マグネトロンスパッタソース』 を取り扱っております。 内部・外部での取付けが可能。独自の冷却水の経路により、 マグネトロン全体を、常時、一定温度で冷却出来ます。 さらに、KF、ISO、CF接続が可能なほか、独自の磁極配置で、 UMBS配列にも対応します。 【特長】 ■全体を、常時、一定温度で冷却 ■内部・外部での取付け可能 ■KF、ISO、CF接続が可能 ■独自の磁極配置で、UMBS配列にも対応 ■ターゲットに負担を掛けない冷却構造で、ターゲットの変形を防ぐ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 冷却装置

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