独自の冷却水の経路により、マグネトロン全体を、常時、一定温度で冷却可能です
当社では、矩形タイプの『IONIX（R） マグネトロンスパッタソース』 を取り扱っております。 内部・外部での取付けが可能。独自の冷却水の経路により、 マグネトロン全体を、常時、一定温度で冷却出来ます。 さらに、KF、ISO、CF接続が可能なほか、独自の磁極配置で、 UMBS配列にも対応します。 【特長】 ■全体を、常時、一定温度で冷却 ■内部・外部での取付け可能 ■KF、ISO、CF接続が可能 ■独自の磁極配置で、UMBS配列にも対応 ■ターゲットに負担を掛けない冷却構造で、ターゲットの変形を防ぐ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【クランプターゲットの特長】 ■冷却・真空シールを開かないで、ターゲット交換 ■20W/cm2までパワー密度アップ ■適切にターゲットを固定 ■ターゲットとプレートを密に接続 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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有限会社フォーユーでは、分光器・プラズマ発光モニタ・ 発光分析ソフトなどをご提供しております。 PLASUS製品や、発光波長同定・分析ソフト『SpecLine』などを 取り扱っておりますので、ご要望の際はお気軽にご相談ください。