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バッチタイプスパッタ装置 - メーカー・企業と製品の一覧

バッチタイプスパッタ装置の製品一覧

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Batch Type Sputtering System

一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

Batch Type Sputtering Systemは一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式で多くのコスト削減が実現できます。

  • スパッタリング装置
  • コーター
  • ステッパー

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