ピエゾZステージ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

Z軸顕微鏡用ピエゾZステージ P-736 PiNano

100µm／200µmレンジの高速フォーカス制御用ピエゾZステージ

P-736は、顕微鏡用途に最適化された高精度ピエゾZステージです。100µmまたは200µmのトラベルレンジを備え、高速ステップ動作と優れたセットリング性能により、顕微鏡のフォーカス制御や高速Zスキャンに対応します。 薄型設計（高さ約20mm）により顕微鏡システムへの組み込みが容易です。非接触の静電容量センサーによる位置フィードバックを採用し、ナノメートルレベルの分解能と高い繰り返し精度を実現します。 駆動部にはPI独自のPICMA(R)ピエゾアクチュエータを採用。これにより、高い信頼性と長寿命を実現するとともに、高速応答によるダイナミックなZ軸制御が可能です。