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ピエゾZステージ - 企業1社の製品一覧

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P-611.ZピエゾZステージ

コンパクトナノポジショナー。クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。

P-611.Zステージは、設置面積がわずかに44 x 44mm、 クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。 【特徴】 ○コンパクト設計:設置面積はわずか44 x 44mm ○ストローク~120μm ○分解能~0.2nm ○低コストの機構/電子システム構成 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

  • アクチュエーター

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