ファインセラミックス『窒化アルミ(AlN)』
熱放射に優れ、絶縁性も高い材料!熱伝導率が高いファインセラミックス!
『窒化アルミ(AlN)』は、特に高温特性に優れたセラミックスです。 熱伝導率が極めて高く、ファインセラミックスでは炭化珪素と肩を並べる 熱伝導率を誇り=170W、線膨張係数がSiに近く耐食性にも優れている事から 半導体製造装置用部材や基板としても幅広く利用されております。 また、その熱に対する特性からヒーター用途にも適しております。 半導体後工程ボンディング用ヒーターツールとしても利用されており、厳しい 平面/平行度や面粗度を要求されますが、当社では過去より数多くのツールを 手掛けており、その実績と加工ノウハウを有しております。 【特長】 ■ファインセラミックスの中で高い熱伝導率と放射性 ■電気絶縁性が高く耐食性にも優れる ■セラミックスの中では高額材料 ■高強度、高温伝導率、高強度、高ヤング率、低膨張率などを有している 【用途例】 ■ヒートシンク、絶縁硝子、保護管、放熱ベース など ■放熱、絶縁性を要する電気部品 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
- 価格:応相談