フィラメントCVD成膜装置×株式会社マイクロフェーズ - 企業1社の製品一覧

ホットフィラメントCVD成膜装置 MPHF

ホットフィラメント（ホットワイヤー）を搭載したコンパクトな卓上型CVD表面処理装置です。

試料近くに設けたWフィラメントを最大2000℃に加熱でき、各種反応ガスの分解を促進します。 ガス分解により生成された活性種（ラジカル）が試料表面に堆積して膜を形成します。

• 企業：株式会社マイクロフェーズ
• 価格：応相談

• その他加工機械