ホットフィラメント（ホットワイヤー）を搭載したコンパクトな卓上型CVD表面処理装置です。
試料近くに設けたWフィラメントを最大2000℃に加熱でき、各種反応ガスの分解を促進します。 ガス分解により生成された活性種（ラジカル）が試料表面に堆積して膜を形成します。
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基本情報
【特徴】 ○メタンなどの炭化水素ガスの高温フィラメント分解により、 導電性と耐食性が両立するダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜が作製可能。 ○窒素前駆体をフィラメント加熱機構により加熱分解させることによって、アンモニアガスをその場で生成しながら、 各種基板や材料を高温加熱し、窒化させたり、窒素ドープしたりすることが可能。 ○アンモニアガスボンベの準備が不要なので、場所や環境を選ばずに実験が可能。 ●その他機能や詳細はお問い合わせください。
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企業情報
カーボンナノチューブ、ナノ材料、ナノテクノロジー分野において、市場ニーズの変化に追随し、 常に技術の最先端の位置を目指して、日々研究開発を進めております。 また、市場の多様なニーズに応えるために、幅広い知見と能力を身に着ける努力を続けております。 お客様の目的や要望を十分に理解し、目標達成のための最短距離を能動的に提案できるよう 常に心がけているつもりです。当社が蓄えてきた力を尽くすだけでなく、チャレンジすることによって 新たな知見と能力を獲得しながら、仕事に取り組んでいます。 ナノテクノロジーの進歩によって、数多くのイノベーションが生まれてきました。 ナノの不思議と魅力はまだまだ多く深く潜んでいます。 当社も、ナノテクの進歩に寄与し、イノベーションの創出に貢献していきたいと思います。
