FAD フィルタードアーク蒸着装置
新機能性薄膜開発に、次世代表面保護膜開発に
スパッタやプラズマCVDでは得られない、高品質膜を実現! SPS装置(通電燒結装置)との組合せで、自在に薄膜開発が可能に! 想いのターゲット製作から成膜実験までを、1日で可能に! クリーン真空アークプラズマを用いたリアルイオンプレーティング
- 企業:株式会社ウエキコーポレーション
- 価格:応相談
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新機能性薄膜開発に、次世代表面保護膜開発に
スパッタやプラズマCVDでは得られない、高品質膜を実現! SPS装置(通電燒結装置)との組合せで、自在に薄膜開発が可能に! 想いのターゲット製作から成膜実験までを、1日で可能に! クリーン真空アークプラズマを用いたリアルイオンプレーティング