フォトリソグラフィー装置 - メーカー・企業と製品の一覧

フォトリソグラフィー装置　ME-2500

有機EL等の基板製造装置に最適！

基板を受取りスピンコートに手動で搬入され、レジストのスピンコート、EBR装置による洗浄、ベークユニット装置によるプリベーク・ポストベーク及びクリーニングを行い、現像装置により現像を行い、手動で基板の取り出しを行う装置です。

• 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
• 価格：応相談

• コーター