GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1100
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
- 企業:エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
- 価格:応相談