スラリー/高純度流体向け フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ
スラリーなどの研磨性流体に最適・液溜まりを最小限に抑えたフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ
半導体製造装置・薬液供給装置・化学工場のフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブです。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。装置内をコンパクトに設計できるようT弁、3方弁タイプなども標準で用意をしています。
- 企業：ゲミュージャパン株式会社
- 価格：応相談
