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フッ素樹脂圧力センサ(温度計測) - 企業1社の製品一覧

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【メタルフリー/薬液用】C31型フッ素樹脂製圧力センサー

高純度流体向けの高精度圧力センサー

C31型は 圧力媒体により動作する高品質の圧力トランスミッターです。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため 浸食性・腐食性流体 高純度の流体に最適です。 3層ダイアフラム構造により プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため 長期にわたり安定した計測を保証します。

  • CMP装置

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