高純度流体向けの高精度圧力センサー
C31型は,圧力媒体により動作する高品質の圧力トランスミッターです。 主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。 接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に最適です。 3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため,長期にわたり安定した計測を保証します。
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基本情報
・多様な電気接続に対応可能 ・計測誤差は±0.5% 【測定レンジ】-100 ～ 600 kPa ※psi, Bar表示も可能 【呼び径】1/4" ～ 1-1/4" 【適用流体】腐食性・高純度の気体および液体 【流体温度】5 ～ 60℃ 【周囲温度】-20 ～ 60℃ 【本体材質】PTFE, PFA 【ダイアフラム材質】PFA 【接続】フレア, NPTねじ込み 【供給電圧】DC10～30V 【入力信号】4 - 20mA 【出力信号】4 - 20mA
価格帯
納期
用途／実績例
・半導体製造のウェットプロセスにおけるケミカルサプライ ・LEDや集積回路製造での超高純度ケミカルの供給輸送 ・化学薬品の充填 ・集積回路製造プラントのウェットプロセス ・エッチング,コーティング,洗浄工程 ・マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム ・超高純度溶剤の供給システム
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企業情報
GEMÜ（GEMU）は最先端の製造工場における新技術開発力で価値を提供します。 私たちは世界中の製薬業界と強い繋がりを持ち、バルブ開発・改良に取り組んできました。その中で、無菌性が必須の「サニタリーダイアフラムバルブ」や、高い制御精度が求められる「半導体製造に特化したバルブ」等、多くの製品を取り揃えるに至りました。 全世界6か所の製造拠点を設け、世界50ヶ国以上でサービスを提供しています。 サニタリーバルブ市場においてリーディングカンパニーとして、多くのプラントで採用頂いています。 研究開発には積極的に取り組み、毎年売上の5％以上が開発投資に回されています。 おかげさまで、ドイツの経営経済研究所（IMWF）よりデジタル化を推進するテクノロジー企業として表彰されています。