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フッ素樹脂薬液ヒータ(薬液) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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インライン ECV型フッ素樹脂製薬液ヒーター

ECV型フッ素樹脂製薬液ヒーター

  • その他ヒータ
  • 加熱装置
  • エッチング装置

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インライン ECE型フッ素樹脂製薬液ヒーター

接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター

接液部は全てPFAのインラインヒーターです。 不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。 液流れの急変や停止に強い。 発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。 発熱体寿命10年以上。 コンパクトで場所をとりません。 熱や機械的衝撃に強く丈夫です。 運転温度・圧力150℃×0.4MPa。

  • エッチング装置
  • その他半導体製造装置

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