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ECE−S

最終更新日:2020年02月13日

株式会社セラ
株式会社セラ
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接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター

接液部は全てPFAのインラインヒーターです。 不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。 液流れの急変や停止に強い。 発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。 発熱体寿命10年以上。 コンパクトで場所をとりません。 熱や機械的衝撃に強く丈夫です。 運転温度・圧力150℃×0.4MPa。

    エッチング装置その他半導体製造装置
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インライン ECE型フッ素樹脂製薬液ヒーター

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接液部は全てPFAです。 不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。 液流れの急変や停止に強い。 発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。 発熱体寿命10年以上。 コンパクトで場所をとりません。 熱や機械的衝撃に強く丈夫です。 運転温度・圧力150℃×0.4MPa。

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テフロンが耐食及び高純度の用途に本格使用された当初からの多くの技術蓄積と化学工学の技術をうまく組み合わせユーザーの望まれる新規なものを常に提供することを社是としています。 セラは ●液体・気体の加熱・冷却装置の設計・製作をいたします。 ●薬液供給装置の設計・製作をいたします。 ●ふっ素樹脂製品の設計・製作をいたします。

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