超高精度フリップチップ・ダイボンダー
±1um以下の超高精度アライメント。試作開発に最適
試作/開発に特化したダイフリップチップボンダー。 高精度ダイボンダー&フリップチップボンディング機能を兼備え モニター画面により手動調整にて超高精度ボンディングを行います。 (型式:MOA1250の場合 無負荷アライメント±1micron) PC又はシーケンサーコントロールにより簡易に高精度ボンディングを実現。 ●シリコンウェハー/チップ/セラミック基板/FR4等対象物を選びません。 ●アクチュエーター単位に移動量のフィールドバックを行い、超高精度を実施。(MOA-1250タイプ) ●エアーカーテン方式ヒートアップステージにより、低酸素濃度中でのボンディング可。 ●多様なオプション 角錐コレット、パルスヒーター、スクライブ機能他。 ●装置は全て受注生産方式、レイアウト、予算、機能等カスタマイズ可。
- 企業:ハイソル株式会社
- 価格:500万円 ~ 1000万円