シリコーンフリー ビーム型ロードセル UWR
半導体製造検査装置への組み込みに最適!シリコーンフリーロードセル
半導体製造現場ではシリコーン樹脂由来のシロキサンを発生しない機器が必須です。 UWRはシロキサンを発生させないビーム型のロードセルです。 シリコンウェハ周辺での用途を考慮し塩素ガスを発生しないフッ素樹脂の被覆のケーブルを使用しています。
- 企業:ユニパルス株式会社
- 価格:応相談
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半導体製造検査装置への組み込みに最適!シリコーンフリーロードセル
半導体製造現場ではシリコーン樹脂由来のシロキサンを発生しない機器が必須です。 UWRはシロキサンを発生させないビーム型のロードセルです。 シリコンウェハ周辺での用途を考慮し塩素ガスを発生しないフッ素樹脂の被覆のケーブルを使用しています。