半導体製造検査装置への組み込みに最適！シリコーンフリーロードセル
半導体製造現場ではシリコーン樹脂由来のシロキサンを発生しない機器が必須です。 UWRはシロキサンを発生させないビーム型のロードセルです。 シリコンウェハ周辺での用途を考慮し塩素ガスを発生しないフッ素樹脂の被覆のケーブルを使用しています。
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基本情報
《主な特長》 ○容量 2N、10N ○アルミニウム合金 ○ケーブル：φ2 4芯シールド テフロンシースケーブル 3m 先端柳線 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
○ウェハ搬送ロボットの把持力管理 ○ウェハの研磨時の押し圧管理 ○チップマウンタの荷重制御 ○ワイヤボンディング時の押し圧管理 ○気体・液体・ゼリーなどの粘着力測定
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| UWR-2N | 定格容量2N |
| UWR-10N | 定格容量10N |
企業情報
ユニパルス株式会社（Unipulse Corporation）はセンサメーカーです。 圧入・加締め等を最適荷重で行うためのデジタルインジケータ、静電容量方式非接触変位計、主軸クランプ力測定器、小径工具把持力計、回転トルクメータなど、幅広い技術を以て数多くの製品を開発しております。特に、回転トルクメータUTM シリーズは、シャフト型のトルク計測のスタンダードとなり多くの開発・製造現場で使われています。 近年では、ストレンゲージを内製化し、ロードセルや多分力計を自社生産しています。 子会社のロボテックはユニサーボ（電動トルクアクチュエータ）、ムーンリフタ（電動バランサ）などを開発・販売しています。 特に、荷重センサとサーボモータで力と位置を常に検知する電動バランサは、人の手感覚で思いのままに重量物を移動させることができます。 今までにない使い勝手の良さから多くの喜びの声をいただいております。 これからもユニパルスグループは研究開発を最重視し、日本初・世界初の製品をお届けしてまいります。