プラズマ/サーマルALD装置『Fiji G2』
500℃ウエハステージ！プラズマダメージの無いリモートICPソース採用
『Fiji G2』は、サーマル式とプラズマ式の研究開発用ALD装置です。 プラズマ源にICPリモートプラズマを採用し、基板搬送に 真空ロードロックを搭載し、高品質の酸化膜、窒化膜、メタル膜の ALD膜が成膜できる設計。 また、簡易除害ユニットALD Shield Vapor Trapを標準搭載しており、 プラズマガスラインは最大6ラインとなっております。 【特長】 ■500℃ウエハステージ ■プラズマダメージの無いリモートICPソース採用 ■超高アスペクト比(＜2000：1)対応モード(サーマル) ■プラズマガスライン：最大6ライン ■プリカーサライン：最大6ライン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ハイテック・システムズ
- 価格：応相談
