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研究開発用、小規模バッチ用！簡易除害ユニットALD Shield Vapor Trap標準搭載
『Savannah G2』は、シンプルで使いやすく研究開発から 少規模の量産まで対応可能な柔軟性のあるサーマル式のALD装置です。 高い成膜性能をシンプルなシステムで実現しており、 用途と予算に合わせた構成選択可能。 ご要望の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■高い成膜性能をシンプルなシステムで実現 ■超高アスペクト比(＜2000：1)対応モード ■用途と予算に合わせた構成選択 ■プリカーサライン：最大6ライン ■簡易除害ユニット：ALD Shield Vapor Trap 標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
500℃ウエハステージ！プラズマダメージの無いリモートICPソース採用
『Fiji G2』は、サーマル式とプラズマ式の研究開発用ALD装置です。 プラズマ源にICPリモートプラズマを採用し、基板搬送に 真空ロードロックを搭載し、高品質の酸化膜、窒化膜、メタル膜の ALD膜が成膜できる設計。 また、簡易除害ユニットALD Shield Vapor Trapを標準搭載しており、 プラズマガスラインは最大6ラインとなっております。 【特長】 ■500℃ウエハステージ ■プラズマダメージの無いリモートICPソース採用 ■超高アスペクト比(＜2000：1)対応モード(サーマル) ■プラズマガスライン：最大6ライン ■プリカーサライン：最大6ライン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
量産に必要な多くの安全対策仕様！コンパクトな装置サイズで成膜温度50～285℃
『Phoenix G2』は、中規模量産に適したサーマル式のALD装置です。 優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザインで、 多用途に対し容易に使用可能。 また、セミオートローダー又は真空ロードロックに対応しており、 適切なチャンバーサイズ(＜370mm×470mm)となっております。 【特長】 ■優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザイン ■多用途に対し容易に使用可能 ■量産に必要な多くの安全対策仕様 ■セミオートローダー又は真空ロードロック対応 ■適切なチャンバーサイズ：＜370mm×470mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
トップクラスのスループット！柔軟性のあるモジュール化されたデザイン
『Firebird』は、大規模量産の為のクラスターツールタイプ サーマル式のALD装置です。 実績のあるVeecoの自動化システムを搭載しており、 基板への衝撃の少ないバッチ搬送。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■トップクラスのスループット ■低所有コスト ■実績のあるVeecoの自動化システム ■柔軟性のあるモジュール化されたデザイン ■基板への衝撃の少ないバッチ搬送 ■Veecoの世界規模のセールス・サービス・サポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
