プラズマプロセスモニタ
プロセス中のプラズマ発光をリアルタイムでモニタするシステムです。
プラズマプロセス中のスペクトルを広帯域で計測し、リアルタイムでモニタリンクするシステム。（測定波長範囲：200 nm～950 nm）
- 企業：アズサイエンス株式会社 松本本社
- 価格：応相談
プラズマプロセスモニタ - メーカー・企業と製品の一覧
プラズマプロセスモニタの製品一覧
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プロセス中のプラズマ発光をリアルタイムでモニタするシステムです。
プラズマプロセス中のスペクトルを広帯域で計測し、リアルタイムでモニタリンクするシステム。（測定波長範囲：200 nm～950 nm）
